GB/T 14015-1992 硅--蓝宝石外延片
作者:标准资料网 时间:2024-05-04 00:44:11 浏览:8611
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基本信息
标准名称: | 硅--蓝宝石外延片 |
英文名称: | Silicon on sapphire epitaxial wafers |
中标分类: | 电子元器件与信息技术 >> 电子设备专用材料、零件、结构件 >> 电子技术专用材料 |
ICS分类: | |
发布部门: | 国家技术监督局 |
发布日期: | 1992-01-02 |
实施日期: | 1993-08-01 |
首发日期: | 1992-12-28 |
作废日期: | 1900-01-01 |
主管部门: | 国家标准化管理委员会 |
归口单位: | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
起草单位: | 天津半导体技术研究所 |
出版社: | 中国标准出版社 |
出版日期: | 2004-08-10 |
页数: | 平装16开, 页数:8, 字数:12千字 |
书号: | 155066.1-9656 |
适用范围
本标准规定了蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片的技术要求、测试方法、检验规则。本标准适用于半导体器件用蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片。
前言
没有内容
目录
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引用标准
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所属分类: 电子元器件与信息技术 电子设备专用材料 零件 结构件 电子技术专用材料
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